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[ 客製化機台整合 | ITO自動檢測機 ]

■ 導電薄膜自動檢測系統 / ITO Film Inspection System

檢測精度

a. 5um
b. 10um
c. 20um或其他需求

可檢測項目

ITO Film線寬、
ITO線距、
ITO斷線、
ITO膜刮痕、
ITO導電薄膜異物、
ITO Pattern形狀異常、
ITO Pattern相似度

ITO離線半自動機型

 線寬與線距的量測 1:4(4X)  線寬與線距的量測 1:4(4X)  線寬與線距的量測 1:4(4X)
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 自動量測各間距  Match  Pattern局部
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 放大顯示  缺損(1:1影像)  1:1 原圖, 標準Pattern
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 另一方向樣品  標準(1:1影像)  自動量測各寬度
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update: 2017-10-19