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[ 一般理化儀器 | 數位式旋轉塗佈機_TW ]
 

■ 光阻塗佈機 / 桌上型數位式旋轉塗佈機 / Photo Resist Spinner

 

Model:SP-03

數位式旋轉塗佈機 光阻塗佈機
桌上型數位式旋轉塗佈機
 

觸控可程式光阻塗佈機

  規格說明:
機台尺寸: 400Wx450Dx550H
本體材質: P.P板一體成型
塗佈範圍: 1/2〞~ 8〞,隨機附1/2”、1”治具(2〞~ 8〞選購)
控制面板: 6”觸控式薄膜液晶面板
旋轉馬達: 直流馬達150W含DC驅動器
旋轉數精度: <1%轉以內
旋轉時間: 0~999.9秒,每段皆可設定
加速度: 300~2000/秒,每段皆可設定
氮氣充填: 0~999.9秒,每段皆可設定
光阻充填: 0~999.9秒,每段皆可設定
記憶模組: 21組程式
轉數設定: 22 Step
轉數設定: 300~8000rpm,每段皆可設定
樣品台: 真空吸著式
制項目: 旋轉馬達的迴轉數,迴轉時間,加速度參數設定,真空值Kpa設定
緊急停止裝置: 真空值保護可設定,迴轉中若低於設定會緊急停止
操作腔體: 不袗內徑26cm /旋鈕快拆式腔體設計/分離式上蓋/易於清潔清洗廢液回收
特殊需求: 各式治具訂製
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update: 2020-03-30