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[ 量測顯微鏡 | 工具顯微鏡-TW | VM 5040U Series ]

VM 5040U Series

VM 5040U Series

結合國內外精密之零組件所推出的,小行程之影像量測系統中,以搭載卓越的 NIKON 、 OLYMPUS 光學系統,搭配量測行
程5 00x 4 00m m 的精密載物台,其總精度可達 2+ L /250(um) ,以因應市場的需求,產品亦可因客戶不同的量測需求,提
供不同的上、下光源模組,甚至客製化的產品修正來符合客戶的量測應用需求。

機台特性

• 光學尺顯示器精度解析可達 1um ,以提供使用者高精度保證。
• 採用高精度花崗石【精密級 (00 級 ) 】底座,以提供機台穩定性之操作,提昇工具顯微鏡之品質。
• 採兩段式 ( 粗微調 ) 對焦系統,方便人員操作,以解決令人困擾的對焦問題。
• 採用最新 LED 環型燈源組,壽命可長達二萬五千個小時,以解決燈泡耗材之問題。此外同軸高亮度、 低溫度可避免待測工
件受燈泡熱度造成 熱膨脹之影響。
• 可透過電腦量測系統做複雜性及大量工件量測,並可透過量測系統來照相及量測數據電腦化,可將量
測數值做成 WORD 、 EXCEL 報表。
• 適用行業 : 半導體、電子、晶圓封裝、 LCD 、 PCB 、 LED 、連接器、導電架、電子零組件、精密
加工、模具、沖壓件、彈簧、刀具、塑膠、軸承、汽機車零件業、端子, …… . 等。

SPEC.

產品規格
VM5040U
XY軸驅動
手動或CNC
量測行程(mm)
X500 Y400
工作檯面(mm)
700x600
底座尺寸(mm)
L:1100 W:1000 H:1400
Z軸工作距離(mm)
100
工作限重(kg)
25
機台重量(kg)
600
包裝重量(kg)
710
金相顯微鏡頭
可選配Nikon或Olympus顯微鏡系列
明視野/暗視野/偏光/微分干涉差
5倍、10倍、20倍、50倍、100倍、物鏡
標準/長工作距離/超長工作距離
XY軸粗調
專利氣動離合器設計
XY軸微調
無牙螺桿手輪
Camera
SONY 1/2" Color CCD
光學尺系統
Heidenhain/Mitutoyo
解析度
0.1(μm)/0.5(μm)
重複精度
3μm+L/250或更高要求精度
線性精度
U1=3μm+L/250,L=量測行程
光源
表面光源(上):環形白光LED光源
輪廓光源(下):自然綠LED光源
軟體操作系統
2.5D、3D或共軛焦量測軟體
備註 1.光源可選購環形冷光或鹵素光源
2.Z軸光學尺、三軸微處理器為選購配備
3.Z軸光學輔助對焦裝置為選購配備,精度0.7 μm
4. Z軸雷射輔助對焦裝置為選購配備,精度0.01 μm
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update: 2020-03-27