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[ AOI自動光學檢測系統 | 石英薄膜缺陷檢測 ]

■ 石英薄膜檢查機(Line Sensor) - Particle、外觀、刮傷 (精度: 10μm)

使用單1 個Line Scan CCD(搭配反射照明)在XYθ-Table 平台上進行單次基板表面的高速動態即時掃描, 基板的實際影像將為
CCD 完整擷取。在處理過程中, 即時影像資料的擷取與Pattern 分析將同時進行, 檢測後異常的影像與數據會被記錄在資料庫
中, 同時會依定義的警報機制發出異常警告(異常過量, 定位異常, 連續基板異常, 連續同位置異常)。

■ 檢測機構示意圖

石英薄膜檢查機

■ 光學精度分析

光學精度分析
項目
Film Substrate
備註
 缺陷精度
10μm
最小缺陷粒徑
 缺陷類別
針孔/刮傷/異物/沾污
 尺寸(長度*寬幅)
105mm*55mm
一次3 片載板
 設備精度
10.0μm
 CCD 點數/Linerate
7.4k 點/12k lps
100MHz, 12000lps
 CCD 視野(FOV)
74mm
 CCD 數量
1
單站
 取像方式
反射光源
長邊行進; 行程: 350mm
 光源
LED 光纖燈源
 移動方式
XYθ-Table(500mm*500mm)
基板移動; 120mm/sec
 Load/對位/Unload
10sec(手動)
 檢測與整合時間
8.0sec/次
外觀檢測

■ 檢測畫面

同軸落射光
環型反射光(背景干擾)
同軸落射光
環型反射光(背景干擾)
 

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update: 2017-10-19