[ AOI自動光學檢測系統 | 線掃描檢測系統 ]

■ 線掃描檢測系統

本系統以電腦視覺方式檢測樣品面板玻璃在切割、研磨、鑽孔、印刷、貼膜等製程後的板邊與表面缺陷檢測, 基於高速與
高缺陷精度的需求, 系統使用3 站Line Scan CCD(搭配透射式與反射式照明)進行整個玻璃基板表面的掃描與檢測。各站
CCD 的檢測方式如下:

Glass Substrate Inspection(Max Size: 250mm*300mm)
站別	精度	檢測位置	光源型式	可檢測缺陷
1	11μm	鑽孔後	透射	表面缺陷、破片、鑽孔毛邊、倒角量量測、尺寸、 Corner 角比對、指定區域的Pattern 比對
2	11μm	印刷後	反射+透射	印刷品質(氣泡、Particle… 等)、破片
3	11μm	貼膜後	反射+透射	貼膜缺陷、破片

■ 光學精度分析

線性CCD: Basler L803k Line CCD

光學精度分析
項目	規格	備註
缺陷精度	30μm(破片: 50μm)
基板寬幅*長度(max)	250mm*300mm
設備精度dx/dy	11μm/11μm
CCD 點數/Scanrate	8000 點/10,000lps
CCD 視野	88mm	8000*設備精度
單站CCD 數量	3	250/CCD 視野
Conveyor 速度	6m/min(100mm/sec)	掃描時
Conveyor Type	Roller
基板掃描時間	3sec	300/100=3

■ 檢測畫面

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update： 2020-03-27