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[ AOI自動光學檢測系統 | 線掃描檢測系統 ]

■ 線掃描檢測系統

本系統以電腦視覺方式檢測樣品面板玻璃在切割、研磨、鑽孔、印刷、貼膜等製程後的板邊與表面缺陷檢測, 基於高速與
高缺陷精度的需求, 系統使用3 站Line Scan CCD(搭配透射式與反射式照明)進行整個玻璃基板表面的掃描與檢測。各站
CCD 的檢測方式如下:
Glass Substrate Inspection(Max Size: 250mm*300mm)
站別
精度
檢測位置
光源型式
可檢測缺陷
1
11μm
鑽孔後
透射
表面缺陷、破片、鑽孔毛邊、倒角量量測、尺寸、
Corner 角比對、指定區域的Pattern 比對
2
11μm
印刷後
反射+透射
印刷品質(氣泡、Particle… 等)、破片
3
11μm
貼膜後
反射+透射
貼膜缺陷、破片




■ 光學精度分析

線性CCD: Basler L803k Line CCD
光學精度分析
項目
規格
備註
缺陷精度
30μm(破片: 50μm)
基板寬幅*長度(max)
250mm*300mm
設備精度dx/dy
11μm/11μm
CCD 點數/Scanrate
8000 點/10,000lps
CCD 視野
88mm
8000*設備精度
單站CCD 數量
3
250/CCD 視野
Conveyor 速度
6m/min(100mm/sec)
掃描時
Conveyor Type
Roller
基板掃描時間
3sec
300/100=3



■ 檢測畫面

 

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update: 2017-09-19