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[ 一般理化儀器 | MIKASA旋轉塗佈機 | MS-B300密閉型 ]

■ 旋轉塗佈機  MS-B300密閉型

旋轉塗佈機 MS-B300密閉型  
 
規格.
產品型號 MS-B300密閉型
基板尺寸 150×150mm
旋轉數(RPM) 20~3,000rpm
旋轉精度 ±1rpm
旋轉馬達 AC伺服馬達
蓋子 鋁 / 聚甲醛樹脂
旋轉腔內徑 φ500㎜
安全裝置 蓋子  ○
真空  ○
滴下裝置 選配
空氣 0.3MPa(上部氣缸用)
使用真空源 -0.08~-0.1MPa
電源 AC200~240V 50/60Hz 5A
外型尺寸 545 ( W ) × 432 ( H ) × 654 ( D ) mm
重量 55kg
 
後膜度分布數據.
MS-B300密封膜厚分佈±0.7% MS-B300開放式膜厚度分佈±3.5%
膜厚測量裝置 FILMETRICS製   F50
光刻劑 OFPR-800LB(東京應化製)
基板尺寸 150 x 150 mm
膜厚分布 ±0.7%
膜厚測量裝置 FILMETRICS製   F50
光刻劑 OFPR-800LB(東京應化製)
基板尺寸 150 x 150 mm
膜厚分布 ±3.5%
 
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update: 2020-03-31