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■ 旋轉塗佈機 MS-B300

旋轉塗佈機 MS-B300

規格.

產品型號		MS-B300
基板尺寸		MAX12inch(200×200mm)
旋轉數(RPM)		20~5,000rpm
旋轉精度		±1rpm
旋轉馬達		AC伺服馬達
蓋子		PC
旋轉腔內徑		φ500㎜
安全裝置	蓋子	○
	真空	○
滴下裝置		選配
使用真空源		-0.08~-0.1MPa
電源		AC200~240V 50/60Hz 5A
外型尺寸		545 ( W ) × 432 ( H ) × 654 ( D ) mm
重量		55kg

特點.

成膜管理

1. MIKASA獨家的旋轉控制系統不但可以達到5,000rpm以上的高速旋轉，且旋轉數精度全實現了±1rpm的高精度
2. 可任意設定旋轉數(0~5,000rpm)和到達旋轉數的時間(0.2sec~999.9sec)，因此可輕易地控制膜厚

成膜圖像

規格

膜厚測量裝置	FILMETRICS製 F50
光刻劑	OFPR-800LB(東京應化製)
基板尺寸	12 inch矽晶圓
目標膜厚	1μm
膜厚分布	±0.8%

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update： 2020-03-31